用途液晶用蝕刻裝置配件
材質
PI（自然級）
尺寸
各種
采用點
耐熱性，低排氣性，降低成本
用途液晶用蝕刻裝置螺栓
用途液晶制造裝置的墊片
PI（15%石墨強化級）
耐高溫、降低成本
用途液晶制造裝置的支架
PEEK 450G(自然級)
耐等離子性、耐熱性